SMC 的 PFM 系列为双流量开关,设计用于检测真空中的微芯片元件吸收以及过滤器和喷嘴中的拥塞。 紧凑型轻便设计,适用于二氧化碳、空气、氮气或氩气。
流率范围:10、25、50,100l/min最小单位设置:0.01l/min重复性:±1%F.S. 或更低!润滑脂-自由流量调节阀集成-减少布管和节省空间的响应时间可设置