Microbridge 质量流量传感器以热传导原理工作。 大量气流被引导通过感测元件的表面。 输出电压根据通过设备入口和出口的空气流和其它气体流按比例变化。
精密硅微加工
低流量灵敏度 - 0.1sccm 至 20SLPM
可适用于更高流量
快速响应时间
模拟输出
低功率消耗,60mW
电压;8 至 15V 直流
可重复响应
响应时间:1ms(典型)
激光微调互换性
直插式印刷电路板接线端子
标准 2.54mm 安装中心
精确感测低压:0.001in 至 4.0in 水柱 (0.003 至 10mbar)
多种安装形式
典型应用包括:暖气、通风和空调系统的节气阀控制;气体分析器;低真空控制;医疗呼吸器和通风设备;氧气浓缩器;渗漏检测设备;通气罩;麻醉控制;气体计量和气体色谱。
库存号 | 最大超压 | 工作温度范围 | 介质兼容性 | 信号条件 |
621-1587 | 150psi | -40 至 +125°C | - | 非放大 |
623-7911 | 150psi | -40 至 +125°C | 仅限干气体 | 非放大 (mV) |
623-7927 | 150psi | -40 至 +85°C | 仅限干气体 | 放大 |
623-7949 | 25psi | -40 至 +85°C | 仅限干气体 | 放大 |